Инструкция по эксплуатации;pdf

Адкрытае акцыянернае
таварыства «Планар-СО»
Открытое акционерное общество
«Планар-СО»
(ААТ «Планар-СО»)
(ОАО «Планар-СО»)
Установка субмикронного зондирования ЭМ-6070А
Аналитическая
субмикронная
установка
зондового контроля ЭМ-6070А предназначена для
осуществления электрического контакта цепей измерителя
с элементами топологии ИС и металлизированными
шинами микронных и субмикронных размеров, для
визуального наблюдения структур, а также для
локализации отдельных элементов топологии во время
диагностических исследований состояния внутренних
блоков ИС в диапазоне нормальных и повышенных
температур.
Технические характеристики
Диаметр п/п пластин
Размер кристалла
Размер контактируемого элемента, не менее
Перемещение микроманипулятора по координатам X, Y, Z
Чувствительность микроманипулятора
Чувствительность тонкой настройки
Перемещение при тонкой настройке
Крепление микроманипулятора к платформе
Перемещение платформы для установки микроманипуляторов
по координате Z, не менее
Перемещение платформы для обеспечения контактирования
по координате Z, не менее
Температура нагрева стола для п/п пластин
Перемещение микроскопа по координатам X, Y, Z
Увеличение микроскопа
Рабочий отрезок
25Х …100 Х
100 Х …400 Х
500 Х …2000 Х
Электропитание установки
Нормы качества электрической энергии
Потребляемая мощность, не более
Вакуум с остаточным давлением
Габаритные размеры, не более:
установки (без блока управления)
Длина
Ширина
Высота
блока управления
Длина
Ширина
Высота
Масса, не более
до 200 мм
(0.4х0.4) … (20x20) мм
0.5 мкм
10 мм
250 мкм/оборот
20 мкм/оборот
200 мкм
постоянный магнит
20 мм
0.2 мм
50…150°C
20 мм
20Х…2000 Х
27 мм
24.5 мм
15 мм
~ 220 В, 50 Гц
по ГОСТ 13109-83
0.8 кВт
0.04Мпа
800 мм
700 мм
750 мм
430 мм
360 мм
200 мм
140 кг