close

Вход

Забыли?

вход по аккаунту

(PDF) - Nanoattometria

код для вставкиСкачать
Нанометрология и нанотехнология
П.Н. Лускинович, ООО "НАНО-АТТО Метрия"
Результаты
экспериментальных
исследований
линейных
манипуляторов
нанометрового диапазона на основе пьезотрубок показали наличие (кроме гистерезиса,
крипа и нелинейности) не измерявшейся величины- нестабильности позиционирования.
В результате проведения многократных измерений регулярной последовательности
сигнатурных перемещений были экспериментально подтверждены разбросы в
позиционировании составлявшие десятые доли нанометра.
Величина измеряемых разбросов перемещения была в несколько раз меньше
уровня шумов оптического интерферометра. Кроме линейных манипуляторов из
пьезокерамики в измерительных и технологических установках применяются также
широкодиапазонные манипуляторы, в которых есть трение. Измерения динамики
перемещения показали, что после окончания перемещения в течение долей секунды
продолжается механическая релаксация конструкции, сопровождающаяся появлением
шумоподобных сигналов.
Данные результаты особенно важны при проведении измерений в начале
нанометрового диапазона. С целью уменьшения неопределенности перемещений
целесообразно проводить их при контроле оптическими лазерными интерферометрами
с субнанометровой неопределенностью измерений. Для этого были разработаны
гомодинные интерферометры Майкельсона, отличающиеся измерениями не по одному,
а по сотням тысяч каналов. В результате уровень шумов интерферометров снизился до
50-100 пикометров. Компактность интерферометров позволила встраивать их в
нанофабы. Кроме того на основе оптических интерферометров были изготовлены
оптические ближнепольные микроскопы по быстродействию, сроку службы зонда и
диапазону возможных нанотехнологических процессов превосходящие широко
распространенные атомно- силовые (рис.1).
Рис. 1. Фото ближнепольного оптического микроскопа
Для проведения нанотехнологических процессов были разработаны установки 2-х
типов на основе нанопинцета и на основе инжектора. В нанопинцете использовалась
двухэлектродная планарная коническая электродная система. Расстояние между
вершинами электродов достигало нескольких десятков нанометров. При приложении
электрического поля
в межэлектродный зазор втягиваются и там фиксируются
наночастицы. В результате появляется возможность захвата, переноса и локального
осаждения наночастиц. Последовательность данных операций приведена на рисунке 2.
U U U=0
L1 U
U>0
L1 U
U>0
L2
U=0
L2 Рис. 2. Последовательность технологических операций по захвату, переносу и осаждению наночастиц
В
нанотехнологической
установке
на
основе
инжектора
производится
расплавление осаждаемого материала, вытягивание его электрическим полем и
локальное осаждение на подложку. Данная конструкция представляет собой 3-D
принтер микронного и нанометрового диапазонов.
1. Лускинович П.Н. Зондовые нанотехнологические процессы. Нанонаука и
нанотехнологии.
Энциклопедия
Юнеско 2011, Стр. 745-759.
систем
жизнеобеспечения.
Издательство
1/--страниц
Пожаловаться на содержимое документа